SF6氣體抽真空充氣裝置系列型號分解4型
真空泵速率
4升/秒(14.4m3/h)
8型
8升/秒(28.8m3/h)
15型
15升/秒(54m3/h)
30型
30升/秒(108m3/h)
70型
70升/秒(252m3/h)可選用羅茨泵機組
150型
150升/秒(540m3/h)可選用羅茨泵機組
主要配置:
真空泵:R5--0040旋片式真空泵(德國)
真空表:高精度熱偶真空計
閥門:不銹鋼精密球閥
連接管:高壓管2根